管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、、、i-poly、、D-poly 三合一同管完成，，减少工艺环节，，，，有效提升良率、、降低碎片率
。。。。

· 无热壁特性，，
，石英管使用寿命长。。。

· 绕镀轻微，，，，易去除。。

· 精准掺杂
、、、可引入其它提效掺杂元素，，，，工艺拓展、、、、提效空间大。。。

· 防导通专利技术
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