有篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，，Nit Stripper
，，，，Pre Clean，
，，Metal Etch,，，，EKC stripper，，，
，Post Ash Polymer Removal，，，， Wafer Recycle, Carrier Clean.

· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.